低成本-高精度
Filmetrics的 Profilm3D/Profilm3D-200让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
标准配置
1、自动XY移动平台
2、100mmx100mm移动范围 (Profilm3D)
3、200mmx200mm移动范围(Profilm3D-200)
4、100mm自动聚焦范围
5、4孔物镜转台
6、+/-5°水平可调样品台
7、业界领先的500um压电陶瓷行程
8、业界领先的10倍物镜下2mm视场范围
参数: Profilm3D
XY样品台移动范围:100mm x 100mm
样品宽度:265mm
设备尺寸:WxDxH:305mm x305mmx550mm
设备重量:15kg
参数: Profilm3D-200
XY样品台移动范围:200mm x 200mm
样品宽度:365mm
设备尺寸，WxDXH:406mm x 406mmx550mm
设备重量:22kg
