PSM 等离子体质量和能量分析仪

    PSM 是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。

应用：

    · 离子束蚀刻
    · 等离子体沉积研究
    · 离子植入 / 激光烧蚀
    · 残余气体分析
    · 泄漏检测



特点：

    · 差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接
    · 灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆，质量数范围至2500
    · 脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
    · 能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选 ）杆的偏压扫描
    · 电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS
    · Penning规和互锁装置可提供过压保护
    · 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
    · 标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选
    · Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选
    · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制