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二次离子质谱

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二次离子质谱
北京英格海德公司
北京
详细说明

二次离子质谱

SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer 

二次离子质谱


仪器介绍

  EQS 是差式泵式二次离子质谱(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

主要特点

 · 高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
 · SIMS 成像,分辨率在微米以下
 · 光栅控制,增强深度分析能力
 · 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
 · 所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
 · 差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
 · 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
 · Penning规和互锁装置可提供过压保护
 · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制

应用:

 · 静态 /动态SIMS
 · 一般目的的表面分析
 · 整体的前端离子源,便于RGA和 SNMS
 · 兼容的离子枪/ FAB 枪
 · 成分/污染物分析
 · 深度分析
 · 泄漏检测
 · 与Hiden SIMS 工作站兼容

 

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