教育装备采购网：质量流量控制器是用来对各种气体的质量流量进行进行精密测量与控制的一种仪器，他大量用于电子工艺设备中，如扩散，氧化，外延，CVD，等离子刻蚀等，以及镀膜设备，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等行业。
质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
M30系列气体质量流量控制器
推荐产品：M30系列气体质量流量控制器
M30系列气体质量流量控制器广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。 这款控制器的主要特点有：流量检测;不因为温度和压力的波动而失准;方便型的流量控制系统;高准确度;耐高压(90bar);快速的响应时间;高重复精度。
M30系列气体质量流量控制器技术参数：
流量范围在0.005-125 SLPM之间;
响应时间 ≤2s ;精度≤1%FS;
重复性±0.25%FS;
输出信号为0-5vdc或4-20mA;
供电电压为15-28vdc;
温度范围是0-50℃;
耐压≤90Bar;机械接口A. 1/8" Compress b. 1/4" Compress c. 3/8Compress d. 1/4" VCR e. 1/4" VCO
(谢沂楠/编辑)
