X射线荧光(以下简称XRF)光谱法基本原理是当物质中的原子受到适当的高能辐射的激发后，放射出该原子所具有的特征X射线，根据该元素的特征X射线进行定性和定量分析的一种方法。XRF具有分析速度快、样品前处理简单、可分析元素范围广、谱线简单，光谱干扰少等优点;其不足之处是只能进行元素分析，不能作价态和化合物分析，分析结果会受到基体的干扰。
XRF主要由光源、色散元件、探测器、数据处理等部分组成。目前，XRF的主要类型有波长色散型XRF和能量色散型XRF。
波长色散型XRF诞生于上个世纪五十年代，具有高分辨率、高灵敏度、可测定元素范围宽等特点;波长色散XRF由于配备了分光系统，因此体积较大、价格昂贵、需作周期性漂移校正、对操作人员要求高。上世纪六十年代初，随着半导体探测器件的发明，使得第一台能量色散型XRF问世。能量色散XRF虽然在分辨率、灵敏度等方面要比波长色散型XRF低，但是因其体积小、结构简单、价格便宜、分析速度快、系统稳定性高、工作曲线可长时间使用等优点迅速得到普及，另外手持式能量色散XRF还可以在野外和工厂现场对矿石和金属材料进行快速筛选。
XRF已经成为一门成熟的成分分析技术，在冶金、地质、建材、石油、生物、环境等领域均有广泛的应用;XRF可测量元素周期表中F～U的所有元素，一些较先进的X射线荧光分析仪器还可测定铍、硼、碳等超轻元素。
国外能散型XRF供应商主要有赛默飞世尔科技、牛津、布鲁克、伊诺斯、岛津、伊达克斯、帕纳科、斯派克、精工盈司、HORIBA、日本电子、日本理学等，国内供应商主要有江苏天瑞、天津市博智伟业、北京京国艺、深圳市华唯计量、普析通用等。
波散型XRF的主要供应商有赛默飞世尔科技、岛津、布鲁克、牛津、帕纳科、日本理学、天瑞仪器、丹东通达、美国Cianflone、俄罗斯对外电子公司等。
XRF激发样品的光源主要包括具有各种功率的X射线管、放射性核素源、质子和同步辐射光源。波长色散X射线荧光光谱仪所用的激发源是不同功率的X射线管，功率可达4~4.5kW，类型有侧窗、端窗、透射靶和复合靶。能量色散X射线荧光光谱仪用的激发源有小功率的X射线管，功率从4~1600W，靶型有侧窗和端窗。靶材主要有Rh、Cr、W、Au、Mo、Cu、Ag等，并广泛使用二次靶。现场和便携式谱仪则主要用放射性核素源。
依分辨率从低至高XRF常用的探测器有NaI晶体闪烁计数器，充气(He, Ne, Ar, Kr, Xe等)正比计数管器、HgI2晶体探测器、半导体致冷Si PIN 探测器、高纯硅晶体探测器、高纯锗晶体探测器、电致冷或液氮致冷Si(Li)锂漂移硅晶体探测器、Ge(Li)锂漂移锗探测器等。目前常用的是电致冷或液氮致冷Si(Li)锂漂移硅晶体探测器、Si PIN 探测器、高纯硅晶体探测器。探测器的性能主要体现在对荧光探测的检出限、分辨率、探测能量范围的大小等方面。
2012年上半年，已经有4家厂商推出XRF光谱仪新品，1家公司推出硅漂移探测器。详情如下：
上左:SEA1000AII能量色散型X射线荧光分析仪，上右:PORT-X100型手持式能量色散X荧光光谱仪;
下左:DM8000型X荧光光谱仪，下右:X-Strata920 X射线荧光 (XRF) 镀层测厚分析仪
日本精工SEA1000AII能量色散型X射线荧光分析仪
SEA1000AII能量色散型X射线荧光分析仪采用新式小型空冷式X光管，可做低电压(15 kV)、中电压(31 kV)、高电压(50kV)二段自动控制，电流可以从0~1000μA,样品需求作最佳化的自动输出强度调整，全自动省却人为调整所会造成的不准确度。
SEA1000AII能量色散型X射线荧光分析仪采用硅半导体探测器,25mm2大探测面积，灵敏度及准确度是一般探测器的五倍。无需液态氮的成本，更加方便。配备有CCD监视器，监测样品分析位置，可将样品做局部放大，作准确定位及分析，同时能储存分析点之影像，連同测试报告一起输出，方便测试资料结果之管理。
该款产品针对RoHS和WEEE指令开发设计，对铅、镉等有害金属可进行ppm级的分析。
牛津仪器X-Strata920 X射线荧光 (XRF) 镀层测厚分析仪
2012年2月,牛津仪器推出了X-Strata920 X射线荧光 (XRF) 镀层测厚分析仪。X-Strata920结合了大面积正比计数探测器和牛津仪器微聚焦X射线光管，使X射线光束强度大、斑点小，样品激发更佳，确保同级别中精确性最好，分析结果只需要几秒钟，从而获得更有效的过程控制和性价比。
X-Strata920 在工业领域如电子行业、五金电镀行业、金属合金行业及贵金属分析行业表现出卓越的分析能力，可进行多镀层厚度的测量。
钢研纳克检测技术有限公司PORT-X100型手持式能量色散X荧光光谱仪
钢研纳克检测技术有限公司是中国钢研科技集团有限公司的全资子公司，具有深厚的钢铁研究及分析背景。据介绍，2012年推出的针对钢铁及地质行业的具有完全知识产权的PORT-X100型手持式能量色散X荧光光谱仪在“第十届中国国际科学仪器及实验室装备展览会(CISILE 2012)”上展出，该仪器采用SDD探测器，操作系统为Windows Mobile 6.1，自带导航和专用测试软件，软件具有定量分析、牌号识别、质量判定及谱图显示等功能，操作方便，可以实现无损检测，安全性能高。
上海爱斯特DM8000型X荧光光谱仪
DM8000型X荧光光谱仪采用波长色散X射线荧光分析技术(WDXRF)，多道同时测量从Na到U的任意十种元素，对大多数元素分析的含量可低至ppm高至100%。DM8000型X荧光光谱仪X射线管采用Varian公司生产的400W薄铍端窗X射线管，Na、Mg等轻元素道探测器窗采用Moxtek公司生产的0.6μm超薄聚酯窗，恒温室温度控制精度小于0.1℃，流气系统采用高精度流气密度稳定装置，压力稳定度小于3Pa，由此使光谱仪具有极高的精度和准确度，达到国际先进水平。DM8000型X荧光光谱仪屏蔽防护的良好设计保证无任何射线泄漏，满足辐射豁免要求。
DM8000型X荧光光谱仪是为水泥行业专门开发的，其性能对水泥行业来说比进口同类产品更好，而价格仅为进口同类产品的几分之一，具有无可比拟的价格性能比。
美国EDAX最新硅漂移探测器
X射线荧光分析仪(XRF)领先制造商美国EDAX公司于美国时间7月4日宣布，其最新推出的硅漂移探测器在高计数率下拥有高分辨率光谱采集能力。据悉，这个50平方毫米的硅漂移探测器在检测信号极弱条件下的应用程序中，其收集光谱数据与30平方毫米SOD相比，时间上减少了一半。而在检测信号饱和的应用程序下，比如铁基合金的测量，由于其X射线光管电流因使用寿命考虑会减少，EDAX最新的探测器在这种条件下仍是极具效益的。
据EDAX公司产品技术经理表示，公司对于这款新品的性能非常满意，它在数据采集速度和测量精度上做出了重大的进步。这款新品的用途相当广泛，它极适合于那些需要对小碎片;墨迹纸、生物样品这样的薄底物涂料;以及使用更重过滤器提高微量元素分析灵敏性的用户使用。
另据了解，EDAX是全球领先电子仪器和机电设备制造商AMETEK公司的材料分析单元分支。EDAX是公认的能量色散微量分析、电子散射衍射和X射线荧光仪器的领导者。它的产品主要在半导体、金属、地质、制药、生物材料、陶瓷市场上发挥重要作用。
