HAD-686是新型的真空测量仪，它针对内热电偶真空测量的实际情况，将产热偶传感器和美Hastings公司的热堆传感器的仪表组合成个仪表，通过面板按键切换传感器测量的种类，采用计算机术对真空测量数据行了优化处理，提升了产品实用性、方便性和能性，可应用于航天、机械、石油、化、低温液体贮运设备、冶金、电子及疗等域的各类真空测量。产品符合JB/T6873-2005。
分类原理介绍
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴电离规和冷阴电离规。
波尔登规(Bourdon)
波尔登规
波尔登规
如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得针示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围般在100Pa至1atm。
薄膜电容规
如右图所示，在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围般横跨4个量，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
这种规的优点是灵敏度很。缺点是须在于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前般需要预热数小时。
皮拉尼电阻规
皮拉尼电阻规
皮拉尼电阻规
也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理作的。
如右图所示，由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。
如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提测量的准确度。
这种规的测量范围般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。
分类
热电偶规
如右图所示，热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理致，只是它不用测量热丝电阻的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。
测量范围般与在0.1Pa至1000Pa。
与皮拉尼电阻规样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。
热阴电离规
如右图所示，热阴电离规中，由热阴即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，而得到气压大小。
这种规的测量范围般为1.0E-05Pa至0.1Pa。
经改后的热阴电离规，Bayard-Alpert规，可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同气体下行标定。
冷阴电离规
冷阴电离规
冷阴电离规
如右图所示，冷阴电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法行气压测量，但与热阴电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。
这种规的测量范围般为1.0E-07Pa至0.1Pa。
与热阴电离规同样的原因，这种规在使用时需要在不同气体下标定。
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