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无掩膜光刻机助力可穿戴柔性微流控芯片研发,实现汗液实时监测!
论文标题:WearableMicrofluidicSweatChipforDetectionofSweatGlucoseandpHinLong-DistanceRunningExercise发表期刊:Biosensors(IF5.4)DOI:https://doi.org/10.3390/bios...
2023-08-01
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[方案]
高教
复旦大学包文中课题组又发一篇Nature子刊,小型台式无掩膜光刻机助力晶圆二维半导体的集成电路工艺取得重要进展!
期刊:NaturecommunicationIF14.92文章DOI:https://doi.org/10.1038/s41467-021-26230-x【引言】石墨烯的发现为人类打开了二维材料的大门,经历十多年的研究,二维材料表现...
2022-08-04
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[技术]
高教
“微莲花,微祝福”| 无掩膜激光直写光刻仪3D灰度曝光应用
近年来,实现微纳尺度下的3D灰度结构在包括微机电(MEMS)、微纳光学及微流控研究领域内备受关注,良好的线性侧壁灰度结构可以很大程度上提高维纳器件的静电力学特性,信号...
2020-07-06
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2189
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[方案]
高教
“微”祝福|小型台式无掩膜光刻落户深圳大学为您献上微加工的圣诞祝福
由英国皇家科学院院士、剑桥大学卡文迪许实验室RussellCowburn教授亲自设计并研发的小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriterML3,DurhamMagnetoOptics,Ltd.)于近日在深圳大学...
2019-12-25
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[企业]
高教
成果速递|小型无掩膜光刻直写系统(MicroWriter)在复旦大学包文中教授课题组的新研究应用
随着电子信息产业的高速发展,集成电路的需求出现了井喷式的增长。使得掩膜的需求急剧增加,目前制作掩膜的主要技术是电子束直写,但该制作效率非常低下,并且成本也不容小...
2019-10-15
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[应用]
高教
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