摘要:基于静压气浮解耦装置的三分量标准振动台,包括底座,所述的底座上设有X轴向振动台和X轴向回复装置,Y轴向振动台和Y轴向回复装置,Z轴向振动台,和三维振动平台;X轴向振动台隔着三维振动平台与X轴向回复装置相对,Y轴向振动台隔着三维振动平台与Y轴向回复装置相对;X轴向振动台和Y轴向振动台分别与各自的振动台侧静压气浮板固定,振动台侧静压气浮板与三维振动平台之间有能形成气膜的间隙;X轴向回复装置和Y轴向回复装置分别由各自的复位弹簧和弹簧侧静压气浮板组成;Z轴向振动台与Z轴向气浮解耦装置固定,Z轴向气浮解耦装置与三维振动平台之间有能形成气膜的间隙。本发明具有承载力大、支撑稳定且支撑均匀性好的优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人何闻;张旭飞;贾叔仕;周杰;
- 地址310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 申请号CN201510018711.6
- 申请时间2015年01月15日
- 申请公布号CN104614137B
- 申请公布时间2016年08月31日
- 分类号G01M7/06(2006.01)I;