摘要:本发明涉及一种二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器。一种二氧化碳激光器的放电电极,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层。上述二氧化碳激光器的放电电极,通过在铝基板的表面沉积镍层,镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝,避免在运输、保存及装配过程中划伤放电电极;镍层提高了放电电极的抗高温性能,避免放电电极在使用过程灼烧变色及氧化,从而避免了二氧化碳激光器放电不均及激光功率的波动及因放电电极氧化引起的激光功率下降;镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右,可以降低启辉电压并使辉光放电更加的平稳,经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍层大大提高了二氧化碳激光器功率的使用寿命。
- 专利类型发明专利
- 申请人大族激光科技产业集团股份有限公司;
- 发明人徐锦忠;任宁;林守利;张鹏;李志;朱伟林;高云峰;
- 地址518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦
- 申请号CN201610149526.5
- 申请时间2016年03月16日
- 申请公布号CN105671527A
- 申请公布时间2016年06月15日
- 分类号C23C18/36(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I;C23F1/36(2006.01)I;C23G1/12(2006.01)I;C22F1/04(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I;