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    数控金刚石微线切割机床

      摘要:数控金刚石微线切割机床涉及一种大尺寸半导体材料的切割机床。本实用新型提供一种数控金刚石微线切割机床;该切割机床能够灵活控制切割厚度、提高效率、切口小、面形好,采用轻体结构、容易移动。本实用新型包括底座,其结构要点是底座上设置有铝框架和步进电机II,步进电机II上带有二维旋转台,所述铝框架的上方设有步进电机I,铝框架的侧方分别设有由步进电机I驱动的丝杠,丝杠之间水平地设置有金刚石切割微线,相应于金刚石切割微线设置有张角控制装置,所述的张角控制装置是由立柱以及立柱上的光电传感器构成。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人沈阳科晶自动化设备有限公司;
    • 发明人张旭;
    • 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号IC装备产业园
    • 申请号CN201020182592.0
    • 申请时间2010年05月07日
    • 申请公布号CN201685349U
    • 申请公布时间2010年12月29日
    • 分类号B28D5/04(2006.01)I;