铜线电阻测试仪
四探针电阻率测试仪
产品名称:四探针电阻率测试仪
产品型号:GEST-126
产品概述
该仪器按照单晶硅物理测试方法guo家标准,并参考美国 ASTM 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试
仪器主要技术指标:
一、 测量范围:
电阻率:0.00001~20000Ω.cm(可扩展)
方块电阻:0.0001~200000Ω/(可扩展)
电导率:0.00005~10000 s/cm;
电阻:0.00001~20000Ω.cm;
五、数据打印:
可对测试结果进行打印,显示结果为:电压、电流、电阻、电阻率
六、试验模式:
手动实验:选择恒流源,在设定的恒流源下测试
自动试验:自动扫描合适的量程范围测试
微机测试:连接电脑通过软件进行测试
铜线电阻测试仪
二、电压测量:
1. 量程0.01mV-2000mV
2. 分辨力:10μV;
3. 输入阻抗>1000MΩ;
4. 精度:±0.1% ;
5. 显示:触摸屏操作显示
三、恒流源:
1.电流输出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,
2. 电流误差:±0.5%
3. 各档连续可调
四、四探针测试电极:
1.间距:1±0.01mm;2.针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 3.机械游移率:≤0.3%;4.探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;5.探针压力:5~16 牛顿(总力);
铜线电阻测试仪
10.1 体积电阻与表面电阻读数取值
体积电阻:
按照guo家标准GB1410标准中第11.1说明规定:在试样表面加上规定的直流电压后开始计时,并在如下每个电化时间做一次测量:1 min、2 min、5 min、10 min、50 min、100 min.如果两次连续测量得出同样的结果,则可以结束试验并用这个电流值来计算体积电阻。作为验收试验,按照有关规范的规定,使用一个固定的电化时间如1MIN后的电流值来计算体积电阻率。
表面电阻:
按照GB1410标准11.2中规定:应在1MIN的电化时间后测量电阻,即使在此时间内电流还没有达到稳定的状态。
三电极接线说明
测量电阻可用二电极,一个接高压电极,另一个接电流电极就行了,仪器的地线用于屏蔽用,在测量高电阻时要与屏蔽箱的地相接以防干扰。测量低电阻时 可以不用。guo家标准 GB1410《 固体绝缘材料绝缘体积电阻率和表面电阻率试验方 法》中推荐一种三电极测量方法:
它是由三个独立的电极组成:
1.中心为圆柱体,直径为50mm, 标准中没有规定高度,但一般是40mm
2.圆柱体外为一圆环,圆环内径为60mm,外径为80mm, 标准中没有规定高度,但一般是40mm
3.底为一平板, 直径为100mm的圆板. 标准中没有规定厚度,但一般为5mm
如果使用这种三电极测量材料表面电阻或体积电阻,可以按下图接线:
4.测表面电阻:(电流流过被测量物体表面时测得的电阻)
仪器高压输出(红)接圆环电极
仪器电流输入端(芯线)接圆柱电极
仪器地(黑,屏蔽线)接圆盘电极
5.测体积电阻:(电流流过被测量物体体内时测得的电阻)
仪器高压输出(红)接圆盘电极
仪器电流输入端(芯线)接圆柱电极
仪器地(黑,屏蔽线)接圆环电极
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