铜线电阻测试仪

　　铜线电阻测试仪

四探针电阻率测试仪

　　产品名称：四探针电阻率测试仪

　　产品型号：GEST-126

　　产品概述

　　该仪器按照单晶硅物理测试方法guo家标准,并参考美国 ASTM 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

　　仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

　　仪器采用了zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

　　本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

　　仪器主要技术指标：

　　一、 测量范围：

　　电阻率：0.00001～20000Ω.cm(可扩展)

　　方块电阻：0.0001～200000Ω/(可扩展)

　　电导率：0.00005～10000 s/cm；

　　电阻：0.00001～20000Ω.cm；

　　五、数据打印：

　　可对测试结果进行打印，显示结果为：电压、电流、电阻、电阻率

　　六、试验模式：

　　手动实验：选择恒流源，在设定的恒流源下测试

　　自动试验：自动扫描合适的量程范围测试

　　微机测试：连接电脑通过软件进行测试

　　铜线电阻测试仪

　　二、电压测量：

　　1． 量程0.01mV-2000mV

　　2． 分辨力：10μV；

　　3． 输入阻抗＞1000MΩ；

　　4． 精度：±0.1% ；

　　5． 显示：触摸屏操作显示

　　三、恒流源：

　　1．电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

　　2.    电流误差：±0.5%

　　3.   各档连续可调

　　四、四探针测试电极：

　　1.间距：1±0.01mm；2.针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 3.机械游移率：≤0.3％；4.探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；5.探针压力：5～16 牛顿(总力)；

　　铜线电阻测试仪

　　10.1 体积电阻与表面电阻读数取值

　　体积电阻：

　　按照guo家标准GB1410标准中第11.1说明规定：在试样表面加上规定的直流电压后开始计时，并在如下每个电化时间做一次测量：1 min、2 min、5 min、10 min、50 min、100 min.如果两次连续测量得出同样的结果，则可以结束试验并用这个电流值来计算体积电阻。作为验收试验，按照有关规范的规定，使用一个固定的电化时间如1MIN后的电流值来计算体积电阻率。

　　表面电阻：

　　按照GB1410标准11.2中规定：应在1MIN的电化时间后测量电阻，即使在此时间内电流还没有达到稳定的状态。

　　三电极接线说明

　　测量电阻可用二电极，一个接高压电极，另一个接电流电极就行了，仪器的地线用于屏蔽用，在测量高电阻时要与屏蔽箱的地相接以防干扰。测量低电阻时 可以不用。guo家标准 GB1410《 固体绝缘材料绝缘体积电阻率和表面电阻率试验方 法》中推荐一种三电极测量方法：

　　它是由三个独立的电极组成:

　　1.中心为圆柱体,直径为50mm, 标准中没有规定高度，但一般是40mm

　　2.圆柱体外为一圆环,圆环内径为60mm,外径为80mm, 标准中没有规定高度，但一般是40mm

　　3.底为一平板, 直径为100mm的圆板. 标准中没有规定厚度，但一般为5mm

　　如果使用这种三电极测量材料表面电阻或体积电阻，可以按下图接线：

　　4.测表面电阻：（电流流过被测量物体表面时测得的电阻）

　　仪器高压输出（红）接圆环电极

　　仪器电流输入端（芯线）接圆柱电极

　　仪器地（黑，屏蔽线）接圆盘电极

　　5.测体积电阻：（电流流过被测量物体体内时测得的电阻）

　　仪器高压输出（红）接圆盘电极

　　仪器电流输入端（芯线）接圆柱电极

　　仪器地（黑，屏蔽线）接圆环电极

　　铜线电阻测试仪