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上海伯东日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston? 专为半导体生产而设计, 实现工艺过程控制, 作为一个强大的平台, Aston? 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供前所未有的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
Aston? 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston? 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 可消除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston? 特性
实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝
半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据
采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用
可与大批量生产工具完全集成
Atonarp Aston? 技术参数
类型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
型号 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
质量分离 | 四级杆 | |||||
真空系统 | 分子泵 | 分子泵 隔膜泵 | 分子泵 | 分子泵 隔膜泵 | 分子泵 | 分子泵 隔膜泵 |
检测器 | FC /SEM | |||||
质量范围 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
检测限 | 0.1 PPM | |||||
工作温度 | 15-35“℃ | |||||
功率 | 350 W | |||||
重量 | 15 kg | |||||
尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) | ||||
Aston? 质谱分析仪CVD 典型应用: Dry pump 干泵排气在线监测,诊断
在恶劣的 CVD 环境中, Aston? 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.
适用场景: 多个腔室连接到1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)
通过使用上海伯东 Atonarp
过程控制质谱仪 Aston?可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量!
若您需要进一步的了解
Atonarp Aston?在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士
