UOTEST DCH-196高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极
端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的
IV/CV特性测试，射频测试，光电测试等。通过液氮或者压缩机制
冷，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料，半
导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。
产品优势：
防辐射屏和热沉设计
降温速度快，常温降至77k<25mins，大大提高测试效率
液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度
详细参数：
产品类型 | 低温开循环 | 低温闭循环 | |
型号 | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 约100KG | 约150KG | |
电力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔体 | 腔体尺寸 | 8英寸，带4英寸高红外透射率观察窗 | |
样品台尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
样品固定方式 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | ||
真空度 | 10^-4pa真空 | ||
接口形式 | 电信接口，真空接口，光纤接口，冷源接口等 | ||
其它 | 带防辐射屏和热沉设计 | ||
温控系统 | 制冷方式 | 液氮 | 压缩机 |
温控范围 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
温控精度 | ± 0.1度 | ||
温度稳定性 | ± 0.1度 | ||
降温速度 | 常温降到77k优于25mins | 常温降到10k优于180mins | |
控制方式 | 液氮自动流量控制 | 压缩机控制 | |
光学系统 | 显微镜类型 | 体式/单筒/金相显微镜 | 体式/单筒显微镜 |
移动范围 | 水平360度旋转，Z轴50.8mm调焦/定制其它 | ||
真空腔观察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||
探针臂 | 探针臂数量 | 多6个 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
点针精度 | 10微米/2微米 | ||
漏电精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | ||
探针 | 频率范围 | DC-67G | |
探针直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可选 | ||
材质 | 钨钢，铍铜 | ||
真空系统 | 机械泵/分子泵组/离子泵 | ||
可选附件 | 防震桌，镀金卡盘，气敏测试组件等 | ||
应用方向 | 高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等 | ||
产品特点 | 防辐射屏和热沉设计 | ||
液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度 | |||
降温速度快，常温降至77k<25mins，大大提高测试效率 | |||
