KT-4019MRL4T精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面可升温到400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。该探针台采用纯银热台，导热性较好，高温不易变色，不易氧化。
该探针台采用纯银热台，导热性较好，高温不易变色，不易氧化。
探针 | |
电信号接头 | 配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA 接头香蕉插头线长1.2米 |
电学性能 | 绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V 电流噪声≤10pA |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） |
探针材质 | 镀金钨针（其他材质可选） |
探针尖 | 10μm |
手动探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） |
X轴控制精度 | ≥500μm |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） |
R轴控制精度 | ≥500μm |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
