优点：
快速分析Ultra DI的采样量大，能够快速获取有效统计数据仪器可以快速清洗，便于在采样点之间快速移动，节省操作人员的时间采样时间间隔较短，缩短粒子分析时间改善制程采样体积大，零点计数值超低，可获取更多的有效统计数据，监测更微量的粒子漂移实时监测粒子污染，对其作出迅速反应Facility Net软件具有更先进的制程控制功能：文数传呼、传感器状态显示、制表和SPC图、时间图、历史数据记录等更小的样本间误差，适用于更严格的制程控制监测灵敏度达到0.05μm，能更迅速地监测制程变化容易使用可使用现有的以太网通讯网络通过4-20mA直接连接PLC和SCADA系统可用于监测臭氧水不锈钢外壳，双HEPA过滤，可用于很脏的环境
应用
量化先进的超纯水（UPW）系统中的粒子浓度 检测过滤器效率 分析低浓度粒子趋势 监测UPW系统中的细菌增长 粒子事件追踪和报警 制程控制 连续系统监测
