深紫外飞秒激光器概述
以可调谐的锁模钛宝石激光器作为基频光源，经过多级倍频/和频来产生192-200nm波段的深紫外超短脉冲激光（图1）。
图1. 192-200 nm超短脉冲激光产生方案示意图
基于基频光源的不同选择，激光波长还可以实现大范围的调谐，z大范围可覆盖192-300 nm波段，且连续可调。另外还可输出覆盖二次谐波(375-500 nm)、三次谐波（（230-300 nm）波段的可见、紫外超短脉冲激光。
另外，基频光源也可选择1 μm波段（1064 nm、1030 nm）锁模激光器，可获得四次谐波（~260 nm）和五次谐波（~210 nm）的紫外激光。
图2. 激光器实物图（192-300 nm连续调谐，尺寸1300*600*200mm3，不含基频源）
技术特点：· 覆盖深紫外、紫外、可见光的大范围波长调谐· 电动控制波长调谐· 高指向稳定性·图形化人机交互界面· 波长可扩展
深紫外飞秒激光器应用领域：· 超快光谱探测· 高精密激光加工· 荧光寿命探测· 非线性光学
2. 基频光源技术参数
典型的基频光源可选择Coherent公司CHAMELEON 系列钛宝石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技术指标如下：
| 技术指标 | 典型参数 | |
| 波长 | 780 nm或波长可调谐 | 根据需求固定激光波长，或可调波长 |
| 脉冲宽度 | 100 fs、50 fs | |
| 重复频率 | 80 MHz | |
| 光束质量 | M2<1.3 | |
| 功率 | ~2.5W@780 nm | 取决于z终需求的深紫外激光功率，2.5W基频光对应于约4mW的195nm激光功率 |
3. 输出技术指标
（1）195 nm激光输出功率约4 mW（基频功率>2.5W@780nm）.
（2）195 nm激光输出功率约0.5 mW（基频功率>1.4W@780nm）
| 技术指标 | 典型参数 | |
| 波长 | 195nm或波长可调谐192-300nm | 根据需求固定激光波长，或可调波长 |
| 脉冲宽度 | ~500fs@266nm | 基频光脉冲宽度100fs时测试结果 |
| 重复频率 | 80MHz | |
| 功率 | ~4mW@195nm | 典型调谐功率见下图（（基于MaitaiHP基频源测试） |
图3.各波段激光输出功率：
（a）二次谐波；（b）直接四次谐波；（c）三次谐波；（d）四次谐波（和频）。
