教育装备采购网
河南大学体育论坛580*60 第六届图书馆论坛580*60

超净工作台的结构及如何空气净化说明

教育装备采购网 2018-08-22 11:00 围观529次

  空气经过过滤的生产环境被航空航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误,因此,NASA(美国航空航天中心)和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且创了许多基本的污染控制理念,其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。

  半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后,很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为超净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上,并使用无脱落的物质。在工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。

  在大型车间中按顺序排列的工作台(叫做工作层流罩)组成加工区,使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器(HEPA高效过滤器)。这些过滤器是由含许多小孔,并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高密度的小孔与大面积的过滤层,使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流,有利于工作台的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用于三种净化方法中。

  一般来说,HEPA高效过滤器装于超净工作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器,再通过HEPA过滤器,并以均匀平行的方式流出,在工作台表面改变方向,流出工作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向,通常这种方式称为空气层流立式式(VLF)工作台,它是由空气流的方向命名的。有些工作台把HEPA过滤器装于工作台后部,这种方式被称为空气层流平行(HLF)式工作台。

点击进入上海沪净医疗器械有限公司展台查看更多 来源:教育装备采购网 作者:上海苏净实业有限公司 责任编辑:赵国成 我要投稿
校体购终极页

相关阅读

  • SW-CJ-2D超净工作台的使用方法
    教育装备采购网11-15
    SW-CJ-2D超净工作台的使用方法SW-CJ-2D超净工作台的使用方法SW-CJ-2D超净工作台的使用方法超净工作台使用LED显示屏显示。工作台面就位地点应在环境较为清洁的工作室内,(zui好置于十万等级或者...
  • 净化工作台_超净工作台清洁验证
    教育装备采购网01-28
    净化工作台_超净工作台清洁验证导读:净化工作台_超净工作台清洁验证超净工作台是用于疫苗检验的重要设备,工作区的洁净度设备性能起决定性作用,对设备进行彻底地清洁,保证设备的清洁卫生关系...
  • 使用双人单面超净工作台时须注意的要点
    教育装备采购网09-27
    双人单面超净工作台广泛适用于医药卫生、生物制药、食品、医学科学实验、光学、电子、无菌室实验、无菌微生物检验、植物组培接种等需要局部洁净无菌工作环境的科研和生产部门。是一种提供局部无...
  • 解析生物安全柜和超净工作台的区别
    江苏同君仪器科技有限公司03-23
    2003~2004年我国多起生物实验室感染事故的发生,使政府、广大科研工作人员对生物危害有了较为深刻的认识。2004年,国家发布了国务院424号令《病原微生物实验室过滤条例》和国家标准《实验室——...
  • 生物安全柜与超净工作台主要有哪些认证
    上海苏净实业有限公司02-22
    生物安全柜与超净工作台主要有哪些认证由于大多数用户对安全柜和超净工作台的性能、测试及检测不是很了解,所以造成了对这些仪器了解的盲区。可是往往有时候这些盲区会造成致命伤害,比如最近新...
  • 分享:超净工作台的工作原理及分类
    教育装备采购网07-24
    超净工作台(cleanbench)是为了适应现代化工业、光电产业、生物制药以及科研试验等领域对局部工作区域洁净度的需求而设计的。其工作原理为:通过风机将空气吸入,经由静压箱通过高效过滤器过滤,...

版权与免责声明:

① 凡本网注明"来源:教育装备采购网"的所有作品,版权均属于教育装备采购网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:教育装备采购网"。违者本网将追究相关法律责任。

② 本网凡注明"来源:XXX(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。

③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。

九牧