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第 1 / 1 页
台式ALD,Nat. Mater.!二维晶体管介电层集成研究取得重要进展
台式三维原子层沉积系统-ALD体积小巧,可放在实验桌上多片4,6,8英寸样品同时沉积厚度均匀性高于99%适合复杂/掺杂薄膜沉积二维半导体表面沉积利器......随着现代半导体行业...
2023-10-19
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4616
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[方案]
高教
MEMS代工|光刻电镀刻蚀镀膜电子束直写
mems加工|微纳加工|硅片光刻加工|镀金镀膜刻蚀微纳mems电路线路图形实验室平台拥有设备等共计200余台,其中主要设备(40余台)包括:·图形化设备电子束曝光、激光直写、台...
2022-06-22
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[企业]
高教
原子层刻蚀 & 区域选择原子层沉积系统
近期向三星电子供货原子层刻蚀(ALE(Atomiclayeretch))和区域选择原子层沉积(ASD(areaselectivedeposition))设备.设备由2个工艺模组和传送模组构成的Clustertype,工艺整...
2022-06-20
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1344
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[方案]
高教
ACS Nano:原子层沉积技术助力复杂纳米结构的合成和调控取得新进展
MoS2(二硫化钼),由于其优异的带隙结构(直接带隙为1.8eV),高表面体积比和的场效应晶体管(FET,fieldeffecttransistor)性能,已成为·具代表性的二维过渡金属硫族化合物(T...
2022-01-17
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7747
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[原理]
高教
采用原子层沉积(ALD)技术的下一代储存技术
随着人工智能(AI)、深度学习、大数据、game及5G移动技术快速发展,导致数据储存量上升,半导体内存被要求低耗化。为解决这个问题目前商用化的有Dram,FlashMemory(NAND)等储...
2021-07-01
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[技术]
高教
原子层沉积技术——“自下而上”构建和调控异质催化剂结构和性能
引言异质催化剂的合成通常借助于传统的湿法化学法,包括浸渍法、离子交换和沉积-沉淀法等。然而,这些方法合成的催化材料往往具有非常复杂的结构和活性位点分布不均匀等问题...
2020-12-07
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1609
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[应用]
高教
ALD原子层沉积系统相关论文
近年来,非晶态In-Ga-Zn-O(a-IGZO)材料。主要用作背板的通道材料。平板显示器(FPD)的TFT由于其优越性.具有均匀性好、通断电流大等特点;与其他无定形氧化物相比,具有更高的...
2020-10-19
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1355
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[应用]
高教
技术线上论坛 | 6月9日《微塑料追踪鉴定新技术——非接触式亚微米分辨红外拉曼同步测量系统》
[报告简介]作为一种新兴污染物,微塑料以纳米、微米到毫米尺度充斥在从海洋到陆地的所有环境里,这些污染物不仅有进入到细胞或生物体内的高风险,甚至会对整个食物链产生影...
2020-06-05
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[名企]
高教
技术线上论坛 | 5月21日《深入“探索”多功能台式低压透射电镜技术与应用—纳米材料、高分子、细胞生物学》
[报告简介]透射电子显微镜(TEM)能够以高的空间分辨率,观察样品的精细结构,从而广泛用于材料科学、以及纳米技术、半导体研究及生物学研究等领域中。近年来出现的台式低压...
2020-05-18
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[企业]
高教
QD中国邀请您参加4月10日《红外光谱技术在空间分辨、时间分辨和测量模式上的新突破》线上讲座
[报告概述]得力于光学共聚焦(Confocal)技术、原子力显微镜(AFM)技术、量子联(QCL)技术等的飞速发展,科学家们已经能够将其与常规的红外光谱测量相结合,把应用拓展到...
2020-04-08
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1437
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[名企]
高教
QD中国邀请您参加4月1日《在新技术下探索单原子催化剂(SACs)的合成、表征和催化机理》线上讲座
[报告概述]单原子催化剂以其超越传统纳米催化剂,在活性、选择性和稳定性的优异表现,有望成为具有工业应用潜力的新型催化剂。而从分子层次认识单原子催化剂的催化机理也成...
2020-03-30
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[名企]
高教
原子层/分子层沉积技术助力新一代高性能储能器件研究
引言原子层/分子层沉积(ALD/MLD,Atomiclayerdeposition/Molecularlayerdeposition)技术,是指将被沉积物质以单原子/单分子形式逐层附着在基底上的一种化学气相沉积技术。它利...
2020-03-02
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[前沿]
高教
Nano Energy:分子层沉积技术助力铂基催化剂性能提升
由于在氢氧化(hydrogenoxidation)和氧还原(oxygenreduction)反应中的高效催化特性,铂基催化剂被广泛地应用于质子交换膜燃料电池当中的关键组成部分,比如阴和阳。然而...
2019-05-28
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[应用]
高教
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