摘要：一种半导体设备承载区域的硅片分布状态光电检测装置以及方法，在位于硅片承载器圆周侧边的机械手U形端部相对位置上，设置有包括发射端和接收端的第一和第二光电传感器组；且承载器和机械手间可以作相对旋转和/或定位的运动；在第一检测子阶段的自接收模式下，执行硅片凸片的异常状态极限位置预扫描指令；通过在第二和第三检测子阶段的互接收模下，执行硅片凸片的异常状态循环扫描指令和执行硅片分布状态异常扫描指令，对硅片发生处于凸片、叠片、斜片或无片等异常分布状态进行扫描检测，且在承载器的周围布设多个扫描检测点，进一步地提高了检测精度。因此，本发明可以很好地避免机械手运动造成硅片及设备损伤，技术实现简单。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;王凯;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510337060.7
- 申请时间2015年06月17日
- 申请公布号CN104979245A
- 申请公布时间2015年10月14日
- 分类号H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
