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等离子体质量和能量分析仪

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等离子体质量和能量分析仪
北京英格海德公司
北京
详细说明

等离子体质量和能量分析仪

Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics

等离子体质量和能量分析仪

仪器介绍

  Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。

主要特点

 · 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动最小
 · 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
 · 所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
 · 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
 · 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围
 · 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析
 · Penning规和互锁装置可提供过压保护
 · 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
 · 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
 · Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
 · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft

应用:

 · 蚀刻 / 沉积作用研究
 · 离子植入 / 激光烧蚀
 · 残余气体分析 / 泄漏检测
 · 等离子体电感耦合,即在操作中遵从电极设定条件
 · 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析

 

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