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超高真空TPD分析系统 UHV TPD ANALYSIS SYSTEM

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HIDEN
TDS Workstation
北京英格海德分析技术有限公司
北京
详细说明

超高真空TPD分析系统

UHV TPD ANALYSIS SYSTEM

 

  超高真空TPD分析系统 UHV TPD ANALYSIS SYSTEM

  The UHV TPD workstation is a fully serviced  UHV chamber with sample heating stage ,  3F/PIC quadrupole mass spectrometer  and TPD analysis software.

 

 Hiden TDS Workstation. Includes:

 

·       Hiden HAL/3F RC 301 PIC, type 553021, triple filter mass spectrometer with mass range to 300 amu and with pulse ion counting single channel electron multiplier detector.

·       UHV vacuum manifold including viewport.

·       Dual turbomolecular pumps (1 x 60L/s and 1 x 240 L/s).

·       Dual oil-sealed rotary pumps.

·       Dual Penning gauges for total pressure read out.

·       Linear transfer mechanism and loadloack, including gate valve and viewport.

·       Heated sample stage to 1000°C, with temperature controller.

 

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