IG20 离子枪

    Hiden IG20 离子枪（Ion Gun），先进的离子枪，配合SIMS进行材料表面和深度的分析。

应用：

    · 静态、动态SIMS
    · 俄歇电子谱
    · 离子束溅射
    · 表面科学研究
    · 光栅/ 深度分析

特点：

    · 具有100μm光斑直径的、0.5～5 keV能量的强离子束
    · 高电流密度4.5 mA/cm²
    · 电子轰击离子源具有氩和氧离子能力
    · 扫描线散射和离子束光栅的光学调整功能，用于深度分析
    · 离子枪的3°偏移量，用于中性粒子的排斥
    · 在光栅应用中，束消隐装置可以快速进行束的转换
    · 差式泵源减少室内气体
    · 便于更换的灯丝
    · 扫描速度可低至64μs
    · 与SIM 和EQS 探针一起，可以直接进行光栅速率/区域控制