HIDEN公司的动态取样质谱仪 HPR20 与 IGA 系列吸附仪连接,可进行逸出气体的分析及TPO、TPD、TPR的研究。在IGA操作软件上进行同步的质谱数据记录和显示。
质谱仪技术规格:
·质量范围:1~200amu或1~300amu ·检测水平:ppm 或ppb ·2米可加热毛细管取样管和旁路歧管 ·加热的快速、直接进样系统 ·两级旁路泵 ·IGA 接口