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二探针测试仪

二探针测试仪
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1673 (JZ-RTS7型)
北京
详细说明
二探针测试仪二探针测试仪
JZ-RTS7型二探针测试仪是运用二探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料纵向电阻率的专用仪器。
    仪器由主机、测试台、二探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
    仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
    本仪器适用于半导体材料厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
 
 
技 术 指 标 :
 
 测量范围
 电阻率:10-4~105 Ω.cm; 分辨率:10-3Ω.cm;
恒流源
 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调
数字电压表
 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 输入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
二探针探头基本指标
 间距:3mm(可选其它间距);
 针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 
 机械游移率:≤0.3%;
 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
 探针压力:5~16 牛顿(总力);
二探针探头应用参数
 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)
  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
测试架
 配置T-2A测试架,两端电极Ф8mm~20mm(可选其他尺寸订做)
计算机通讯接口
 并口
标准使用环境
 温度:23±2℃;
 相对湿度:≤65%;
 无高频干扰;
 无强光直射;


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