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X射线晶体定向/半导体籽晶X射线定向仪

X射线晶体定向/半导体籽晶X射线定向仪
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4028 (JZ-2D6D)
北京
详细说明
JZ-2D6D (GB+GF适用晶棒,籽晶条)
1:一侧GB测角仪能测晶圆片;能测Φ4---Φ6英寸, 长400mm晶棒端面,如硅:(111)蓝宝石C、R面等其它晶体的角度。
2:另一侧GF测角仪配置一个高度可调籽晶测试架,测Φ5—20mm圆或方型,长150mm籽晶端面, 如硅:(111)蓝宝石C 面等其它晶体的角度。
 
X 射 线 管 铜靶,阳极接地,强迫风冷
管  电  压 30KVP,全压合闸
管  电  流 0-5mA,连续可调
整 机 功 率 交流220V  不大于0.3KW
综 合 精 度 ±30″
蜗轮运动误差 不大于30″
角度数字显示 以度、分、秒显示,小读数10″
计数器旋转角度 2θ角-10° ~ +110°
晶体旋转角度 θ角-10° ~ +55°
计   数  管 盖革计数管,工作电压500 ~1100V
时 间 常 数 分0.1、0.4、3秒三档可调
保       护 高压连锁保护,温度保护
狭       缝 4′、5′、6′
测 量 方 式 手动测量
可测籽晶直径 Φ5-20mm,长150mm方或圆籽晶
工  作  位 双测角仪、双工作位
外 型 尺 寸 长1140mm×宽650mm×高1250mm
仪 器 重 量 200kg
 
 
X射线晶体定向仪JZ-YX3技术指标
X射  线  管 铜靶,阳极接地,强迫风冷
管  电  压 30KVP,全压合闸
管  电  流 0-5mA,连续可调
整 机功 率 交流220V  不大于0.3KW
综 合 精 度 ±30″
蜗轮运动误差 不大于30″
角度数字显示 以度、分、秒显示,小读数10″
计数器旋转角度 2θ角:-10°------ +110°
样品晶体旋转角度 1θ角:-10°------ +55°
计  数  管 盖革计数管,工作电压500-----1100V
时 间常 数 分0.1、0.4、3秒三档可调
保      护 高压连锁保护,温度保护
 狭      缝 4′、5′、6′
可测晶体重量 重30kg的晶棒
可测晶体直径 Φ4-----Φ12英寸晶圆片
可测晶棒长度 180毫米长晶棒
工 作 位 双测角仪、双工作台
两个工作台标准配置如下:
(适用晶棒掏籽晶定向、籽晶定向)
1、一侧配钻籽晶专用夹具,对晶棒端面进行定向硅(111,100)蓝宝石C、
等,能测Φ4---12英寸,长180mm晶棒;
测试好:拿下夹具,然后在切割机或籽晶钻床等机床上加工圆籽晶。
夹具直径100~260毫米(可选)
2、另一侧对上述切割好的籽晶条端面进行定向;
   
两台设备的市场价格:
JZ-2D6A 市场报价为:68000
JZ-YX3     市场报价为:66000
注:上述设备均含增值税发票与安装调试费,货期一周

联系电话:13810309620   

X射线晶体定向/半导体籽晶X射线定向仪
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