详细说明
JZ-100型智能匀胶机
智能匀胶机主要适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆，各种光刻胶表面膜制备。
系统配置高速变频马达，变频控制涂胶转速、时间，使整个涂胶过程精确，稳定。
主 要 技 术 指 标
u 系统支持10个工艺组存储，每个工艺组可设置4段运行速度及运行时间
u 匀胶速度： 0～8000rmp可调
u 匀胶时间： 1～9999s任意时间可设置
u 旋转加速度：0～12000rpm/sec 由低速到高速加速时间0.1s～0.5s
u 转速稳定度：±1rmp
u 涂胶均匀性：±3%
u 可镀膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
u 基片厚度： ≤5mm
其 它 配 置
设备配置Ф260mm接胶装置（不锈钢材质）
电机额定功率90W，额定转速8000rmp
真空系统：FY-1C真空泵一台，抽气速率60L/min(标配)
AP-500V无油真空泵，抽气速率100L/min（选配）
样片托：随机配1英寸一个，2英寸一个，其它规格尺寸按要求定做。
输入电源： AC220V/240V 50HZ
机身尺寸： 280×360×240mm
机身重量：10Kg
