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电子光学及离子光学仪器 Lumina AT1

电子光学及离子光学仪器  Lumina AT1
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Lumina AT1
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详细说明


  透明/半透明晶圆缺陷扫描Lumina AT1

  简介:

  Lumina AT1可以在4分钟内完成150毫米晶圆的扫描,对于基底上下表面的颗粒、凸起、凹陷、划痕、内含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半导体如氮化镓、砷化镓、碳化硅等样品上有独特的优势。也可用于薄膜涂层的成像厚度变化的全表面扫描。

  样品300 x 300 mm。

  厂商简介

  Lumina Instruments,总部位于美国加利福尼亚州圣何塞,公司创始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷检测创新了更快速准确的方法,因此创建了革命性的仪器品牌lumina.

  技术创新

  收集的数据将被分析,图像和缺陷图将由LuminaSoft软件生成。感兴趣的缺陷可在扫描电子显微镜(SEM)、椭偏仪、显微镜等上进行进一步分析。

  将样品放入系统

  直径为30微米的绿色激光以50毫米的直线运动,反射光和散射光由四个探测器捕获。

  四通道检测

  AT1有四个检测通道。它们同时运行以生成四个独立的图像。每个通道有助于检测和分类某些缺陷。

  极化:薄膜缺陷、污渍反射率:划痕、内应力*、玻璃内的条纹*坡度:划痕、凹坑、凸起、表面形貌暗场:纳米颗粒、包裹体

  Lumian AT1和AT1-Auto:AT1采取的样品的尺寸为300mm,AT1-Auto采取样品的尺寸为200mm。光斑的大小都在30μm。灵敏度(PSLon玻璃)在150nm;扫描的出结果的时间在4/7/15.5min。

  AT1应用案例:

  透明/非透明材质表面缺陷的检测。

  MOCVD外延生长成膜缺陷管控

  PR膜厚均一性评价

  Clean制程清洗效果评价

  Wafer在CMP后表面缺陷分析

  多个应用领域,如ARVR、Glass、光掩模版蓝宝石、Si wafel等、

  产品规格:

  AT1

  系统规格

  扫描时间:3分钟内扫描150mm晶圆

  扫描范围:300 x 300mm

  灵敏度: 薄膜缺陷<0.5nm

  颗粒,硅上100nm PSL                    

  颗粒,玻璃上150nm PSL

  标刻:金刚石标刻

  温度:18-30摄氏度

  电压:120/230VAC

  电流:6A/4A

  重量:370Kg(815榜)

  尺寸:880 x 743 x2005mm

  (34.6 x29.2x79英寸)

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