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电子光学及离子光学仪器 Lumina AT2

电子光学及离子光学仪器  Lumina AT2
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Lumina AT2
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详细说明


  透明/半透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2

  简介:

  Lumina AT2可以在3分钟内完成150毫米晶圆的扫描,对于基底上下表面的颗粒、凸起、凹陷、划痕、内含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半导体如氮化镓、砷化镓、碳化硅等样品上有独特的优势。也可用于薄膜涂层的成像厚度变化的全表面扫描。

  样品300 x 300 mm。

  厂商简介

  Lumina Instruments,总部位于美国加利福尼亚州圣何塞,公司创始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷检测创新了更快速准确的方法,因此创建了革命性的仪器品牌lumina.

  技术创新

  将样片放入系统中,3~5分钟即可完成扫描。

  收集的数据将被分析,图像和缺陷图将由LuminaSoft软件生成。感兴趣的缺陷可在扫描电子显微镜(SEM)、椭偏仪、显微镜等上进行进一步分析。

  将样品放入系统

  直径为30微米的绿色激光以50毫米的直线运动,反射光和散射光由四个探测器捕获。

  四通道检测

  AT2有四个检测通道。它们同时运行以生成四个独立的图像。每个通道有助于检测和分类某些缺陷。

  极化:薄膜缺陷、污渍反射率:划痕、内应力*、玻璃内的条纹*坡度:划痕、凹坑、凸起、表面形貌暗场:纳米颗粒、包裹体

 

  Lumina AT2和 AT2Auto:AT2采取的样品的尺寸为450mm,AT2-Auto采取样品的尺寸为200mm。光斑的大小在都在60μm也可以选择30或10μm;灵敏度在300nm为理想;扫描时间在40/50/120s。

  AT2应用案例:

  内部缺陷:在融化阶段,玻璃内含有污染物

  内应力:生产过程中玻璃内部形成的张力或折射率内部变化。

  污渍:由于薄膜残留或清洗过程导致表面变色。

  产品规格:


  AT2

  系统规格

  扫描时间:2分钟内扫描300mm晶圆

  扫描范围:450x450mm

  灵敏度:薄膜缺陷<0.5

  颗粒,硅上200nm PSL

  颗粒,玻璃上300nm PSL

  标刻:金刚石标刻200$

  翘曲度:范围可达800μm

  +/-5μm重复性

  温度:18-30摄氏度

  电压:120/230VAC

  电流:8A/4A

  重量:480Kg (1058磅)

  尺寸:1037 x 1037 x2005mm(40.8 x 40.8x79英寸)

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