Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台，能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。
TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供低温操作和控制，系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行，可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm（2英寸）的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。
TTPX探针台是Lake Shore为光电材料表征而设计的高端产品，它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的工具。
主要特征
√ 温度范围4.3 K~475 K
√ 可选低温3.2 K，可选高温675 K
√ 标准2英寸（51 mm）样品
√ 紧凑型桌面设计
√ 样品振动＜30 nm可选
√ 环形磁体选件最大0.19T
√ 允许样品背光接入
主要参数及描述
温度范围 | ||
安装2个探针臂 | 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装4个探针臂 | 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装6个探针臂 | 基础温度4.35 K，控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装PS-LT低温选件 | 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K | |
安装PS-HTSTAGE高温选件 | 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K | |
温度稳定性 | 液氦 | 液氮 |
基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | ±20 mK |
<10 K | ±50 mK | — |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 | |
抽真空时间 | 15 min (<1 × 10-3Torr) | |
室温 | <5 × 10-4Torr | |
基础温度 | <1 × 10-5Torr | |
最高温度 | <5 × 10-3Torr | |
循环时间 | ||
总循环 | 2 h | |
抽真空 | 15 min | |
探针台冷却 | 45 min | |
探针台升温 | 60 min | |
样品 | ||
最大尺寸 | 51 mm(2英寸)标准 | |
样品背光接口 | 5 mm (0.2 in) 直径 | |
样品旋转 | 无 | |
样品振动 | ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 | |
探针配置 | ||
最大探针数 | 6 | |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
冷却探针支架 | ＜35 K(样品在基础温度下) | |
探针支架 | 连接样品台热沉 | |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
光纤探针 | 可用于电光测量 | |
落针范围 | 所有探针均可在直径为25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
