主要功能:多靶复合磁控溅射镀膜机,可满足合金膜、单层膜、多层膜、导电膜、非导电膜和反应溅射的需要,具有极高的实用性和通用性(三靶、垂直与共溅射合一、在线清洗基片等),能够提供高水平功能薄膜研制,特别适合于半导体、新能源、磁性材料、储氢材料、二维材料、超硬薄膜、固体润滑薄膜、自洁净薄膜、等领域前沿研究,同时可选配等离子刻蚀功能和辅助镀膜。
成都超迈光电科技有限公司,为高新技术企业、标准拟定单位、创新型中小企业、省专精特新企业、新经济双百企业,已通过GB/T与GJB双体系认证。
公司致力于真空镀膜、等离子刻蚀、人工晶体材料和特殊装备的技术提升,具有全系列涂层服务装备和检测手段,已申请专利60余项,授权专利与软件著作权50余项,拟定标准2项,行业标准1项,为中国物理学会固体缺陷专家委员单位,全国电热装备标准化委员会单位,已形成工业级、科研级和特殊级三大产品系列,公司投入数亿元在南充高新区(顺庆高新区)建有超迈智能产业园,共分两期建设,一期已完成3.5万平方米厂房和配套办公生活设施建设,具备强大的研发和制造能力。
