摘要：本发明涉及一种用于气体的质量流量控制器，包括壳体和与壳体紧密螺接的本体，壳体内部设置有支架，一流量传感器和电路板分别与支架螺纹连接，本体内设有气体通道，一电磁阀固定在本体上部，所述流量传感器和电磁阀分别与气体通道相通，所述本体内有一压力传感器，压力传感器位于本体内的气体通道上，气体的流通量根据流量传感器和压力传感器的数值进行调整。本质量流量控制器属于压力不敏感型，全金属密封结构，耐腐蚀，应用范围广。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人苏乾益;牟昌华;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200910238445.2
- 申请时间2009年11月20日
- 申请公布号CN101714003B
- 申请公布时间2012年07月25日
- 分类号G05D7/00(2006.01)I;G05D7/06(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
