摘要：本发明公开一种调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置，包括至少两根平行设置的布气管，每根布气管上均设置流量计，相邻两根布气管上错列设置吹气部，吹气部是由多个规格相同的均匀排列的气孔构成，每个气孔沿布气管的径向开设，多个气孔在布气管沿其轴向依次布置。通过将布气系统设置为至少两根布气管，并在相邻两根布气管上错列设置吹气部，可以使布气系统吹出的气体能均匀的到达靶面，保证膜层均匀；通过在布气管上设置流量计，使气体的流量可实时的调节，即根据靶面距待镀膜物体表面的距离、镀膜厚度的不同，精确的调节气体的流量，并且能使各个布气管上吹出的气体的流量相等，达到实时控制、精确镀膜的目的。
- 专利类型发明专利
- 申请人广东志成冠军集团有限公司;
- 发明人陈宇;
- 地址523000 广东省东莞市塘厦镇田心工业区广东志成冠军集团有限公司
- 申请号CN201210531667.5
- 申请时间2012年12月10日
- 申请公布号CN103014642A
- 申请公布时间2013年04月03日
- 分类号C23C14/35(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
