摘要：本发明公开了一种化学液混合装置及方法，所述化学液混合装置包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。本发明提供的化学液混合方法及装置，可以有效解决现有半导体工艺设备中存在的补液不均匀问题，结构简单，易于实现。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人何金群;刘福生;王锐廷;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210350984.7
- 申请时间2012年09月19日
- 申请公布号CN102847480B
- 申请公布时间2014年07月30日
- 分类号B01F13/10(2006.01)I;B01F3/08(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
