摘要:本发明公开了一种电容式压力传感器,其包括力臂板、弹性体、传力杆和安装在弹性体下方的电容极板,弹性体具有动端和定端,传力杆穿过力臂板的一端且穿过弹性体和电容极板的中间,所述电容极板为三层结构,其中上、下极板为固定不动的定极板,而中间极板为动极板,动极板通过绝缘垫圈与弹性体的动端销轴连接,两个定极板通过绝缘垫圈与弹性体的定端销轴连接。本发明电容式压力传感器具有变极距、电容极板为差动式结构,其灵敏度高,误差小,并且具有温度补偿功能。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海朝辉压力仪器有限公司;
- 发明人伍正辉;龙霞;
- 地址200090 上海市平凉路2440号3号楼3楼
- 申请号CN200910049490.3
- 申请时间2009年04月17日
- 申请公布号CN101865740A
- 申请公布时间2010年10月20日
- 分类号G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I;