摘要：本实用新型公开了一种电容式压力传感器，包括形成有压力腔的衬底硅片，在所述衬底硅片上方叠置有多个电容器，其中中间电容器的上电极为上面电容器的下电极，中间电容器的下电极为下面电容器的上电极，所述多个电容器的电容介质互不相同。本实用新型的压力传感器利用介电应变效应，将感压膜设计成由多层材料构成的电容结构，并采用不同的材料作为电容的绝缘介质，利用不同材料的温度效应不同进行电容式压力传感器的温度补偿的结构设计。
- 专利类型实用新型
- 申请人南京工业大学;
- 发明人余辉洋;
- 地址211800 江苏省南京市浦口区浦珠南路30号
- 申请号CN201520697099.5
- 申请时间2015年09月09日
- 申请公布号CN205102961U
- 申请公布时间2016年03月23日
- 分类号G01L1/14(2006.01)I;
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