摘要：本发明公开了一种压入式介电高弹体压力传感器，由下至上依次包括基底、传感层和覆盖层；所述基底和覆盖层中，其中一者上设有容置孔，另外一者上设有与所述容置孔相配合以挤压传感层发生形变的凸柱；所述传感层为上、下表面均设有柔性电极的介电高弹体薄膜。本发明的压力传感器为压入式，在作为传感层的介电高弹体薄膜上设置覆盖层与基底，且令覆盖层和基底设有若干个用于使传感层发生形变的配合机构，可以实现用较小的压力产生较大的薄膜形变，从而实现传感器的高灵敏度。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人曲绍兴;刘俊杰;毛国勇;黄晓强;邹咤南;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201410803826.1
- 申请时间2014年12月22日
- 申请公布号CN104535227B
- 申请公布时间2017年02月22日
- 分类号G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
